查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題名 | 化學機械研磨製程晶圓承載器最適表面形狀研究=Study on Optimal Carrier Morphology in Chemical Mechanical Polishing Process |
---|---|
作者 | 林有鎰; Lin, Yeou-yih; |
期刊 | 德霖學報 |
出版日期 | 20070600 |
卷期 | 21 2007.06[民96.06] |
頁次 | 頁347-356 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 化學機械研磨; 晶圓承載器表面形狀; 偶合模式; Chemical mechanical polishing; Carrier's morphology; Coupled model; |