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題 名 | 化學機械研磨製程晶圓承載器最適表面形狀研究=Study on Optimal Carrier Morphology in Chemical Mechanical Polishing Process |
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作 者 | 林有鎰; | 書刊名 | 德霖學報 |
卷 期 | 21 2007.06[民96.06] |
頁 次 | 頁347-356 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 化學機械研磨; 晶圓承載器表面形狀; 偶合模式; Chemical mechanical polishing; Carrier's morphology; Coupled model; |
語 文 | 中文(Chinese) |