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題名 | 建立化學機械研磨製程之接觸有限元素模式=A Contact Finite Element Model in Chemical Mechanical Polishing Process |
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作者 | 林有鎰; 董彥臣; | 書刊名 | 德霖學報 |
卷期 | 20 民95.06 |
頁次 | 頁309-318 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 化學機械研磨; 二維軸對稱準靜態接觸有限元素模式; Chemical mechanical polishing; 2-D axisymmetric quasic-static contact finite element model; |
語文 | 中文(Chinese) |