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題 名 | 外圓切割刀暫/穩態磨耗與晶體崩裂之探討 |
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作 者 | 林昭文; 鄭銘宏; | 書刊名 | 工程科技與教育學刊 |
卷 期 | 5:1 2008.03[民97.03] |
頁 次 | 頁10-20 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 暫態磨耗; 穩態磨耗; 晶體崩裂; 切削; 晶圓; Dicing blade; Adhesive wear; Wear coefficient; Brittle material; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本研究目的在探討外圓鑽石切割刀切削晶圓在暫穩態磨耗中對晶圓崩裂及切割刀本身磨耗影響。依照完整的磨耗包含暫態、穩態磨耗兩種磨耗曲線理論,取一切割刀使用相同切割參數切割轉速如切割刀進刀速度、冷卻水溫、晶圓厚度等,將鑽石切割刀由磨耗初期到磨耗末期依最大磨耗量區分六個實驗階段,每階段量測(Ⅰ)晶體崩裂,探討切割刀在不同磨耗狀況之下對晶體崩裂的影響,(Ⅱ)切割刀磨損狀況,包含切割刀表面粗操度(surface roughness)及刀腹磨耗面積等,探討鑽石切割刀暫/穩態磨耗行為。(Ⅲ)對磨耗初期及末期切削冷卻水作掃描式電子顯微鏡及成分分析儀EDX探討切割刀磨耗前後冷卻水中矽渣成分及結構比對,最後在取不同磨粒粒度切割刀在相同實驗條件確認實驗差異性。最後應用本文研究求得在鑽石切割刀切削晶圓暫穩態磨耗區間上述實驗差異。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。