查詢結果分析
來源資料
相關文獻
- 氮化鋁薄膜表面結構及感測特性之研究
- Growth of Highly C-Axis Oriented Aluminum Nitride thin Films on SiO[feaf]/Si(100)
- 多通道陣列延伸式閘極場效電晶體應用於氯離子感測器之研製
- 過氧化氫在UV光照射下之裂解行為研究:氯離子及硝酸根離子之影響效應
- 臺電底灰性質之探討
- Understanding the Basis for Chronic Metabolic Alkalosis: A Requirement for Electroneutrality and Mass Balance
- 墾丁地區大氣氣膠粒徑分布及氣象因子對散光係數之影響
- Characteristics of C-axis Oriented AlN Films Grown by Reactive DC Magnetron Sputtering
- 礦物摻料或以表面塗封材料保護之混凝土抗氯離子滲透性
- RC結構物防蝕策略之研究
頁籤選單縮合
題 名 | 氮化鋁薄膜表面結構及感測特性之研究=Structure and Sensing Properties on a Thin AlN Film |
---|---|
作 者 | 江榮隆; 黃安立; | 書刊名 | 科學與工程技術期刊 |
卷 期 | 4:1 2008.03[民97.03] |
頁 次 | 頁73-79 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 射頻濺鍍; 氮化鋁; 氧化銦錫玻璃; 場發射掃描式電子顯微鏡; 氯離子; R.f. sputtering; AlN; ITO glass; FE-SEM; Chlorine ion; |
語 文 | 中文(Chinese) |