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題名 | 微系統製程技術發展=Development of Micro System Fabrication Technology |
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作者 | 林郁欣; 胡一君; 周曉宇; Lin, Yu-hsin; Hu, Yi-chiuen; Chou, Hsiao-yu; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 20040200 |
卷期 | 25:4=138 2004.02[民93.02] |
頁次 | 頁62-72 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微系統製程技術; 系統化微米; 奈米製程; |