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來源資料
零組件雜誌
154 2004.08[民93.08]
頁27-28+30+32-33
電機工程
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題名
前進半導體先進製程--全球奈米電子技術現況與趨勢探討
作者
陳俊儒
;
書刊名
零組件雜誌
卷期
154 2004.08[民93.08]
頁次
頁27-28+30+32-33
分類號
448.57
關鍵詞
奈米電子
;
奈米製程
;
微影製程
;
語文
中文(Chinese)
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