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來源資料
臺灣奈米會刊
34 2013.09[民102.09]
頁22-45
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題名
創新之微奈米製程技術及其產業應用=Innovative Technologies of Micro/Nano-processing and Equipments Developed for Industrial Applications
作者姓名(中文)
張哲瑋
;
李永春
;
書刊名
臺灣奈米會刊
卷期
34 2013.09[民102.09]
頁次
頁22-45
專輯
奈米機械
分類號
448.552
關鍵詞
微奈米製程
;
圖案化藍寶石基板
;
奈米壓印
;
奈米滾印
;
LED
;
PSS
;
語文
中文(Chinese)
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