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電子月刊
11:6=119 2005.06[民94.06]
頁216-223
電機工程
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電燈廠
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匯出書目
題 名
非晶矽膜再結晶特性之線上光學檢測技術與表面形貌研究與分析
作 者
郭啟全
;
鄭正元
;
書刊名
電子月刊
卷 期
11:6=119 2005.06[民94.06]
頁 次
頁216-223
分類號
448.57
關鍵詞
準分子雷射退火
;
相變化機制
;
表面形貌
;
非晶矽薄膜
;
語 文
中文(Chinese)
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