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題 名 | 微尺度薄膜熱傳導性能量測方法=Measurement Methods for Micro/Nanoscale Thin Films Thermal Conductivity |
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作 者 | 簡恆傑; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 247 2007.07[民96.07] |
頁 次 | 頁95-105 |
專 輯 | 熱管理技術專題 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 薄膜; 熱傳導; 微機電; Thin films; Thermal conductivity; Micro-electro-mechanical system; MEMS; |
語 文 | 中文(Chinese) |