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來源資料
化工技術
15:4=169 2007.04[民96.04]
頁95-111
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匯出書目
題 名
電化學技術在半導體銅製程中的應用
作 者
蔡子萱
;
顏溪成
;
書刊名
化工技術
卷 期
15:4=169 2007.04[民96.04]
頁 次
頁95-111
專 輯
電化學與化工應用專輯
分類號
448.552
關鍵詞
銅製程
;
電化學技術
;
雙鑲嵌結構
;
電化學沉積
;
電化學平坦化
;
語 文
中文(Chinese)
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