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題 名 | 鈮酸鋰複合晶圓延性製程技術開發=Ductile-Mode Fabrication Process for Hybrid Lithium Niobate Wafers |
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作 者 | 吳嘉城; 陳采寧; 洪瑞華; 何世賢; 丁嘉仁; 蔡宏營; 武東星; | 書刊名 | 材料科學與工程 |
卷 期 | 38:1 民95.03 |
頁 次 | 頁18-23 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 鈮酸鋰基板複合晶圓; 晶圓貼合; 化學機械研磨; Lithium niobate; LiNbO[feb0]; Hybrid substrate; Wafer bonding; Chemical mechanical polishing; |
語 文 | 中文(Chinese) |