頁籤選單縮合
| 題 名 | 結合微陣列式熱致動器之新型微光學元件抬升結構的探討=Investigation of a Novel Elevating Structure Combined with MATA for Micro Optical Devices |
|---|---|
| 作 者 | 蔡健忠; 范振豪; 陳仁杰; 林培豪; | 書刊名 | 明新學報 |
| 卷 期 | 31 民94.10 |
| 頁 次 | 頁101-116 |
| 分類號 | 448.57 |
| 關鍵詞 | 微陣列式熱致動器; 牽制式抬升結構; 彈簧結構; 微面鏡; 微光學元件; Micro array thermal actuator; Curb structure; Spring structure; Micro mirror; Micro optical devices; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |