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題名 | 結合微陣列式熱致動器之新型微光學元件抬升結構的探討=Investigation of a Novel Elevating Structure Combined with MATA for Micro Optical Devices |
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作者姓名(中文) | 蔡健忠; 范振豪; 陳仁杰; 林培豪; | 書刊名 | 明新學報 |
卷期 | 31 民94.10 |
頁次 | 頁101-116 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微陣列式熱致動器; 牽制式抬升結構; 彈簧結構; 微面鏡; 微光學元件; Micro array thermal actuator; Curb structure; Spring structure; Micro mirror; Micro optical devices; |
語文 | 中文(Chinese) |