頁籤選單縮合
題名 | 微文氏管與微孔口板之研製=Fabrication of Micro Venturi Tube and Orifice |
---|---|
作者 | 蔡聲鴻; 康尚文; 張碧峰; | 書刊名 | 新埔學報 |
卷期 | 20 民92.09 |
頁次 | 頁1-11 |
分類號 | 471.3 |
關鍵詞 | 微文氏管; 微孔口; 乾蝕刻; 靜電接合; Micro venturi tube; Micro orifice; Dry etching; Anodic bonding; |
語文 | 中文(Chinese) |