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來源資料
機械工業
282 民95.09
頁46-58
電機工程
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電燈廠
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題 名
微機電式霧化器之研發與應用=Developments and Applications of Micro-nebulizer by MEMS Technology
作 者
沈聖智
;
王郁仁
;
程榮勝
;
鄧吉雄
;
葉建賢
;
李聰瑞
;
蔡明杰
;
書刊名
機械工業
卷 期
282 民95.09
頁 次
頁46-58
專 輯
微/奈米製造技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
微機電技術
;
吸入式微霧化器
;
壓電致動器
;
MEMS technology
;
Nebulizer
;
Nozzle plate
;
語 文
中文(Chinese)
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