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題 名 | 具精細調整功能之微光學元件的運動模式探討=Motion Behavior Investigation of a Novel Elevating Structure with Fine Tuning for Micro Optical Devices |
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作 者 | 蔡健忠; 蔡尚哲; 黃奕澄; 范振豪; 陳炳茂; | 書刊名 | 明新學報 |
卷 期 | 32 民95.08 |
頁 次 | 頁169-181 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 微陣列式熱致動器; 微面鏡; 微光學元件; 微調結構; Micro array thermal actuator; MATA; Micro mirror; Micro optical devices; Fine tuning structure; |
語 文 | 中文(Chinese) |