頁籤選單縮合
題名 | 具精細調整功能之微光學元件的運動模式探討=Motion Behavior Investigation of a Novel Elevating Structure with Fine Tuning for Micro Optical Devices |
---|---|
作者姓名(中文) | 蔡健忠; 蔡尚哲; 黃奕澄; 范振豪; 陳炳茂; | 書刊名 | 明新學報 |
卷期 | 32 民95.08 |
頁次 | 頁169-181 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 微陣列式熱致動器; 微面鏡; 微光學元件; 微調結構; Micro array thermal actuator; MATA; Micro mirror; Micro optical devices; Fine tuning structure; |
語文 | 中文(Chinese) |