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來源資料
電子月刊
12:5=130 民95.05
頁202-211
電機工程
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題 名
準分子雷射加工六角形微透鏡陣列製程中光罩形狀效應之研究
作 者
王述宜
;
黃俊欽
;
書刊名
電子月刊
卷 期
12:5=130 民95.05
頁 次
頁202-211
分類號
448.57
關鍵詞
準分子雷射
;
拖曳式加工
;
非球面微透鏡
;
六角形微透鏡陣列
;
語 文
中文(Chinese)
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