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來源資料
奈米通訊
13:2 民95.05
頁12-17
電機工程
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題名
掃描電容顯微術於低溫退火影響硼摻雜原子活化行為之研究
作者姓名(中文)
鄭皓達
;
簡鳳佐
;
張茂男
;
書刊名
奈米通訊
卷期
13:2 民95.05
頁次
頁12-17
分類號
448.57
關鍵詞
掃描電容顯微術
;
低溫退火
;
硼摻雜原子
;
活化行為
;
積體電路製程
;
語文
中文(Chinese)
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