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題名 | The Anomalous Behavior of Hydrogenated/Unhydrogenated Polysilicon Thin Film Transistors under Electric Stress=電漿氫化與無電漿氫化的薄膜電晶體在電應力下呈現之異常特性 |
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作者 | 陳啟文; 周靜娟; 吳明瑞; | 書刊名 | 明新學報 |
卷期 | 26 民90.06 |
頁次 | 頁281-286 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 薄膜電晶體; 電漿氫化; 副起始特性; 零態電流; Hydrogenation; Subthreshold swing; Thin film transistor; |
語文 | 英文(English) |