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題 名 | 原子力顯微鏡之壓電驅動奈米定位技術=Tracking Control of a Piezoceramic Actuator System Using a Combined Self-Tuning Regulator and Phase-Lead Compensator for Atomic Force Microscopy |
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作 者 | 顏木田; 陳毅; 朱怡銘; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
卷 期 | 7 民95.12 |
頁 次 | 頁62-71 |
專 輯 | 奈米機械 |
分類號 | 337.97 |
關鍵詞 | 原子力顯微鏡; 壓電致動器; 磁滯效應; 自調式適應控制; 前饋控制; AFM; Piezoceramic actuators; Hysteresis; Self-tuning regulator; Feedforward control; |
語 文 | 中文(Chinese) |