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題名 | PDMS奈米壓印模的製作及其應用 |
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作者 | 施錫龍; 蔡來福; 文翔昇; 戴寶通; 丁永強; 許丕明; 李明峻; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷期 | 13:1 民95.02 |
頁次 | 頁1-5 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 深次奈米世代; 電子束曝光; 奈米壓印; 表面自組裝; PDMS材料; Deep sub-nanometer generation; Electron beam writting; Nanoimprint; Surface self assembly; |
語文 | 中文(Chinese) |