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來源資料
科儀新知
26:6=146 2005.06[民94.06]
頁63-72
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題名
以電子顯微鏡為基礎之電子束曝光機的改裝與應用=Scanning-Electron-Microscope-Based E-Beam Writer and Its Applications in the Fabrication of Nano-Electronic Devices
作者
陳啟東
;
吳憲昌
;
書刊名
科儀新知
卷期
26:6=146 2005.06[民94.06]
頁次
頁63-72
分類號
448.552
關鍵詞
電子顯微鏡
;
電子束曝光機
;
曝光
;
成像
;
奈米結構
;
語文
中文(Chinese)
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