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來源資料
工業材料
412 2021.04[民110.04]、 : = . [ . ]
頁87-95
電機工程
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電燈之特殊應用
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題 名
無光罩數位曝光技術與應用=Maskless Digital Lithography Technology and Application
作 者
黃耀正
;
張德宜
;
吳明宗
;
許玉瑩
;
張金華
;
周彥潾
;
書刊名
工業材料
卷 期
412 2021.04[民110.04]
頁 次
頁87-95
專 輯
光電與顯示特刊
分類號
448.59
關鍵詞
無光罩
;
數位曝光技術
;
數位成像
;
可顯影
;
Maskless
;
Digital lithography technology
;
DLT
;
Digital image
;
Developable
;
語 文
中文(Chinese)
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