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來源資料
東方學報
25 民94.10
頁86-95
相關文獻
探討腔室壓力對於高介電常數樣料(Ba[90b0],Sr[90b1])(Ti0.9,Zr0.1)O[feb0]薄膜特性影響之研究
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題名
探討腔室壓力對於高介電常數樣料(Ba[90b0],Sr[90b1])(Ti0.9,Zr0.1)O[feb0]薄膜特性影響之研究
作 者
高國陞
;
書刊名
東方學報
卷期
25 民94.10
頁次
頁86-95
分類號
448.533
關鍵詞
射頻磁控濺鍍
;
鈦酸鍶鋇鋯
;
介電常數值
;
漏電流
;
語文
中文(Chinese)
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