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題名 | 氬氣/甲烷比對以電漿輔助化學氣相沉積法製備碳密封鍍層光纖性質的影響=The Effect of Argon/Methane Rations on the Properties of Hermetically Carbon-coated Optical Fibers Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method |
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作者 | 林家隆; 林宏謙; 薛翔峻; 薛顯宗; Lin, Jia-long; Lin, Hung-chien; Hseuh, Hsiang-chun; Shiue, Sham-tsong; |
期刊 | 興大工程學刊 |
出版日期 | 20051100 |
卷期 | 16:3 民94.11 |
頁次 | 頁189-198 |
分類號 | 440.34 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 光纖; 碳鍍層; 化學氣相沉積; Optical fibers; Carbon coating; Chemical vapor deposition; |