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來源資料
電機月刊
15:11=179 民94.11
頁148-161
電機工程
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特殊控制系統
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題名
影像伺服技術於曝光機精密定位之探討及應用
作者
林崇田
;
書刊名
電機月刊
卷期
15:11=179 民94.11
頁次
頁148-161
專輯
自動化專輯
分類號
448.94
關鍵詞
曝光製程
;
機器視覺
;
運動控制
;
光罩精密定位
;
語文
中文(Chinese)
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