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來源資料
機械月刊
27:8=313 2001.08[民90.08]
頁304-313
電機工程
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電燈廠
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題 名
化學機械研磨技術簡介
作 者
鄭友仁
;
蔡宏榮
;
黃培堯
;
書刊名
機械月刊
卷 期
27:8=313 2001.08[民90.08]
頁 次
頁304-313
專 輯
切削加工與刀具專輯
分類號
448.57
關鍵詞
化學機械研磨
;
平坦化技術
;
IC製程
;
CMP
;
語 文
中文(Chinese)
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