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題名 | 有機高分子材料在半導體低介電薄膜上的應用簡介 |
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作者 | 鍾顯政; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 218 2005.02[民94.02] |
頁次 | 頁96-106 |
專輯 | 多功能先進塗層材料技術專題 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 積體電路; 介電常數; 有機高分子; 低介電材料; Low-乆Materials; Integrated circuit; IC; Dielectric constant; Organic polymers; |
語文 | 中文(Chinese) |