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題名 | 晶圓磨床設計與實作=Design and Practice of Wafer Grinder |
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作 者 | 陳世昌; | 書刊名 | 機械工程 |
卷期 | 251 2004.12[民93.12] |
頁次 | 頁63-68 |
分類號 | 446.8954 |
關鍵詞 | 晶圓磨床; 氣靜壓主軸; 背面研磨; Wafer grinder; Aerostatic spindle; Backside grinding; |
語文 | 中文(Chinese) |