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題 名 | 影響切割裂片品質的因素探討=The Factors that Influence the Quality of Scribinging and Breaking |
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作 者 | 陳貴榮; 陳孟群; 陳志明; 賴志一; 譚子陵; 江錦忠; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 258 2004.09[民93.09] |
頁 次 | 頁236-247 |
專 輯 | 光電與半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 切割; 劃線; 刻劃; 裂片; 街道; 基準角度; 壓痕; 中央裂痕; 側向裂痕; 斷裂; 徑向裂痕; 微裂痕; 掀離; 晶圓背面研磨; Dicing; Scribe; Break; Street; Null angle; Indentation; Median crack; Lateral cracks; Fracture; Radial crack; Micro-crack; Lift off; Backside grinding; |
語 文 | 中文(Chinese) |