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題 名 | 半導體研磨設備之大尺寸氣靜壓主軸技術=Large-size Aerostatic Spindle Technology for Semiconductor Grinding Machine |
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作 者 | 陳世昌; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 447 2020.06[民109.06] |
頁 次 | 頁50-58 |
專 輯 | 光電半導體產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 氣靜壓主軸; 氣靜壓旋轉工作臺; 研磨砂輪; Aerostatic spindle; Aerostatic rotary table; Grinding wheel; |
語 文 | 中文(Chinese) |