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來源資料
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
9:1 2002.02[民91.02]
頁17-21
電機工程
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電燈廠
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基本資料
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題名
單一步驟蝕刻PZT鐵電薄膜電容結構=
作者
楊忠諺
;
黃俊凱
;
呂玉琪
;
陳三元
;
期刊
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
出版日期
200202
卷期
9:1 2002.02[民91.02]
頁次
頁17-21
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
蝕刻
;
PZT鐵電薄膜電容結構
;
PZT薄膜
;
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