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題名 | 雙基材視覺對位技術探討=Near IR Technology for Double Substrate Alignment |
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作者 | 蔡雅惠; 唐煌欽; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 258 2004.09[民93.09] |
頁次 | 頁229-235 |
專輯 | 光電與半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 機械視覺; 影像處理; 近紅外線定位法; Machine vision; Image process; Near IR alignment; |
語文 | 中文(Chinese) |