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題 名 | Run-to-run Control簡介與APC Framework架構設計=Introduction of Run-to-run Control and Architecture Design of APC Framework |
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作 者 | 徐明照; 曹永誠; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 258 2004.09[民93.09] |
頁 次 | 頁191-199 |
專 輯 | 光電與半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 先進製程控制技術; 半導體通訊標準; R2R控制器; Advanced process control; SECS; Run-to-run control; |
語 文 | 中文(Chinese) |