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來源資料
機械工業
246 2003.09[民92.09]
頁156-165
電機工程
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特殊控制系統
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題 名
半導體設備工程資料收集技術探討
作 者
蔡嘉鴻
;
李正一
;
楊昌霖
;
蕭禮明
;
書刊名
機械工業
卷 期
246 2003.09[民92.09]
頁 次
頁156-165
專 輯
光電與半導體設備技術專輯
分類號
448.94
關鍵詞
先進製程控制技術
;
半導體通訊標準
;
資料頻道
;
分散式元件物件模型
;
可擴展標示語言
;
APC
;
Advanced process control
;
SECS
;
Channel
;
COM+
;
XML
;
語 文
中文(Chinese)
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