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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
11 2004.06[民93.06]
頁43-61
工程學總論
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題名
明膠材料於面型微細加工之應用=
作者
林韋至
;
鍾永強
;
楊龍杰
;
歐育誠
;
期刊
微系統暨奈米科技協會會刊
出版日期
20040600
卷期
11 2004.06[民93.06]
頁次
頁43-61
分類號
440.34
語文
chi
關鍵詞
明膠
;
低溫面型微細加工
;
頁籤選單縮合
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