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題 名 | Temperature Compensation with SiO[feaf]Thin Films on LiNbO[feb0]Substrates for Surface Acoustic Wave=使用二氧化矽薄膜作為鈮酸鋰表面聲波溫度之補償 |
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作 者 | 鄭建銓; | 書刊名 | 德霖學報 |
卷 期 | 18 2004.06[民93.06] |
頁 次 | 頁251-258 |
分類號 | 440.12 |
關鍵詞 | 鈮酸鋰; 表面聲波; 射頻濺鍍法; 頻率溫度係數; LiNbO[feb0]; Surface acoustic wave; RF magnetron sputtering; Temperature coefficient of frequency; |
語 文 | 英文(English) |