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題 名 | 奈米機械隔振平臺技術分析=Technical Consideration of Vibration Isolation Platform for Nanomachinery |
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作 者 | 孫彥碩; 鐘裕亮; 張乃加; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 255 2004.06[民93.06] |
頁 次 | 頁186-194 |
專 輯 | 奈米機械技術專輯 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 隔振; 掃描探針顯微設備; 專利分析; Vibration isolation; Scanning probe microscopy; Patent analysis; |
語 文 | 中文(Chinese) |