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題 名 | 奈平定位平臺系統鑑別之探討=A Study of System Identification for Nanometer Positioning Stage |
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作 者 | 游鴻修; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 255 2004.06[民93.06] |
頁 次 | 頁176-185 |
專 輯 | 奈米機械技術專輯 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 奈平定位平臺; 系統鑑別; 奈米系統控制技術; Nanometer positioning stage; System identification; Nanosystem control technology; |
語 文 | 中文(Chinese) |