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題名 | 熱處理對平面顯示器用鋁合金薄膜特性之研究=Effect of Heat Treatment on Characteristic of Sputtering Al Alloy Thin Films for Liquid Crystal Display |
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作者 | 陳家驊; 黃信二; 顧鈞豪; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 16:4 2004.04[民93.04] |
頁次 | 頁43-50 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 平面顯示器; 鋁鈧; 鋁釹; 靶材; 濺鍍薄膜; 電阻率; Flat panel displays; Al-Sc; Al-Nd; Target; Sputtering thin film; Resistivity; |
語文 | 中文(Chinese) |