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題 名 | 平面顯示器用高純度鋁濺鍍靶材開發=The Development of High Purity Aluminum Sputtering Targets for Flat Panel Display |
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作 者 | 陳貞光; 曾天佑; 謝榮淵; 江連桂; | 書刊名 | 鑛冶 |
卷 期 | 49:1=189 民94.03 |
頁 次 | 頁107-117 |
分類號 | 472.5 |
關鍵詞 | 高純鋁; 濺鍍靶材; 平面顯示器; 再結晶; 熱機處理; High purity aluminum; Sputtering targets; Recrystallization; Flat panel display; Thermo-mechanical process; |
語 文 | 中文(Chinese) |