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來源資料
陶業
23:2 2004.04[民93.04]
頁21-31
工程學總論
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其他非金屬材料
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題名
以溶凝膠靶配合RF磁控濺鍍法製備非晶性IZO薄膜之探討
作者
吳明宗
;
朱俊隆
;
盧信冲
;
書刊名
陶業
卷期
23:2 2004.04[民93.04]
頁次
頁21-31
專輯
功能陶瓷專輯
分類號
440.34
關鍵詞
溶凝膠靶材
;
RF濺鍍
;
銦鋅氧化物
;
透明導電薄膜
;
PET
;
語文
中文(Chinese)
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