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來源資料
真空科技
1:3/4 民77.11
頁32-38
金屬工藝
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腐蝕及保護;表面處理
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匯出書目
題 名
鉭質矽化物/砷化鎵之耐溫特質研究
作 者
高進興
;
葉鳳生
;
書刊名
真空科技
卷 期
1:3/4 民77.11
頁 次
頁32-38
分類號
472.16
關鍵詞
鉭質矽化物
;
砷化鎵
;
RF濺鍍機
;
TaSix
;
GaAs
;
語 文
中文(Chinese)
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