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| 題 名 | 長行程奈米定位平臺之表面聲波與磁力致動技術=Long-Stroke-Nano-positioning Stage Driven by Two Ways-Surface Acoustic Wave and Magnetism |
|---|---|
| 作 者 | 巫震華; 王維漢; 林康寧; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 255 2004.06[民93.06] |
| 頁 次 | 頁163-175 |
| 專 輯 | 奈米機械技術專輯 |
| 分類號 | 446.8401 |
| 關鍵詞 | 表面聲波致動器; 磁力致動器; 奈米定位平臺; 光學尺; SAW actuator; Magnetic actuator; Nano-positioning stage; Linear encoder; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |