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來源資料
零組件雜誌
142 2003.08[民92.08]
頁72-74+76+78+80+82-83
電機工程
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電燈廠
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題名
半導體與微機電的科技結晶--解析CMOS-MEMS技術發展與應用現況
編 次
下
作者
鄭英周
;
戴慶良
;
張培仁
;
書刊名
零組件雜誌
卷期
142 2003.08[民92.08]
頁次
頁72-74+76+78+80+82-83
分類號
448.57
關鍵詞
半導體
;
微機電
;
CMOS-MEMS
;
CMOS-compatible MEMS
;
語文
中文(Chinese)
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