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來源資料
零組件雜誌
141 2003.07[民92.07]
頁82-84+86
電機工程
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電燈廠
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題名
半導體與微機電的科技結晶--解析CMOS-MEMS技術發展與應用現況
編 次
上
作者
鄭英周
;
戴慶良
;
張培仁
;
書刊名
零組件雜誌
卷期
141 2003.07[民92.07]
頁次
頁82-84+86
分類號
448.57
關鍵詞
半導體
;
微機電
;
CMOS-MEMS
;
CMOS-compatible
;
MEMS
;
語文
中文(Chinese)
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