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題名 | 鑽石薄膜成長技術簡介--化學氣相沉積法與BEN技術概述 |
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作者 | 謝浚豪; 劉丙寅; 范正宏; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 245 2003.08[民92.08] |
頁次 | 頁129-137 |
專輯 | 微機電技術專輯 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 鑽石薄膜; 應用; 化學氣相沈積; 負偏壓成核; Diamond film; Application; CVD; Chemical vapor deposition; BEN; Bias enhanced nucleation; |
語文 | 中文(Chinese) |