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來源資料
機械月刊
29:7=336 2003.07[民92.07]
頁64-77
機械工程
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磨研機
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題 名
化學機械研磨系統之鑽石修整器研究
作 者
廖運炫
;
楊琦婷
;
洪珮文
;
趙弘文
;
書刊名
機械月刊
卷 期
29:7=336 2003.07[民92.07]
頁 次
頁64-77
專 輯
切削加工與刀具專輯
分類號
446.895
關鍵詞
化學機械研磨
;
鑽石修整器
;
研磨墊
;
CMP
;
語 文
中文(Chinese)
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